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應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶

顯微鏡壓電定位/掃描臺

對于高分辨顯微科學(xué)而言，精確地而快速的控制樣品的位置是獲得高質(zhì)量影像的必要條件，因此壓電平臺是高分辨顯微科學(xué)研究的必要工具。

壓電平移臺是利用壓電陶瓷的形變驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向，采用硅高精度位移傳感器，并利用超低電子噪聲的控制器使位移平臺擁有緊湊的體積、亞微米的分辨率及超低底噪。被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。

其中中空式壓電平臺是指平臺臺面有透空通孔的平移臺。主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整，可與顯微鏡和分析設(shè)備結(jié)合使用用于定位與測量。如超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM顯微鏡）生物學(xué)研究等。

昊量光電的中空式壓電平臺可提供不同維度及行程的位移平臺。主要包括以下產(chǎn)品：

1）中空式壓電平移/掃描臺，

可提供一維/二維/三維等不同維度的平移臺，可提供不同行程，不同通孔的平臺。該平臺采用對位移敏感的硅傳感器，使平臺體積超緊湊，并且有超低底噪。

2）手動壓電混合定位平臺

壓電平臺可以與配套的手動位移平臺使用，也可以提供*的混合集成定位平臺用于倒置光學(xué)顯微鏡（蔡司，奧林巴斯，尼康，徠卡），混合定位系統(tǒng)，由手動位移平臺和壓電平臺組成，其中手動位移平臺通常適配市面上大部分的光學(xué)顯微鏡，可提供X，Y兩個維度的移動，行程可達(dá)到25mm，可進(jìn)行位移粗調(diào)，壓電平臺進(jìn)行亞納米分辨率的精確定位與掃描。

3）壓電物鏡定位器

該平臺主要用于物鏡Z軸方向精確定位和掃描?？商峁?00-300μm的行程，廣泛用于Z軸堆疊；3D成像；自動對焦等應(yīng)用?？勺杂筛鼡Q安裝環(huán)，可適配RMS，M25，M26，M27和M32等物鏡。

u 產(chǎn)品特點(diǎn)

l 高分辨率（0.01nm）

l 大行程1500mm

l 高速度，自振頻率可達(dá)7000Hz

l 采用硅傳感技術(shù)

l 超低底噪

l 柔性鉸鏈導(dǎo)向

顯微鏡壓電定位/掃描臺產(chǎn)品參數(shù)

	Unit	HS1.10	HS1.30	HS1.50	HS1.70	HS1.100	LF1.100	LF1.200	LF1.300	FOC
Range of motion	mm	10	30	50	70	100	100	200	300	300
Resolution	nm	0.01	0.03	0.05	0.07	0.1	0.1	0.2	0.3	0.3
Typical noise floor	nm	0.001	0.003	0.005	0.007	0.01	0.01	0.02	0.03	0.03
Full range repeatability	nm	0.02	0.06	0.1	0.14	0.2	0.2	0.4	0.6	0.6
Stiffness	N/mm	5.2	3	3	3	1.1	0.6	0.5	0.4	0.3
Maximum load :
horizontal use	Kg	1
vertical use	Kg	0.5
Sensor		Silicon HR sensor
Material		Al
Cable length	m	2
Controller		Standard or High Speed				Standard

顯微鏡壓電定位/掃描臺

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