AUT-FST 5000 薄膜應(yīng)力測量儀

基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用激光掃描方式和探測技術(shù)，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜應(yīng)力測量儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測量和計(jì)算.

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